Τα συστήματα ρουλεμάν αέρα από γρανίτη χρησιμοποιούνται ευρέως σεεξαιρετικά ακριβήςπλατφόρμες κίνησης για την κατασκευή ημιαγωγών, την οπτική ευθυγράμμιση και τη μετρολογία σε νανομετρική κλίμακα.
Αυτά τα συστήματα εξαλείφουν τη μηχανική επαφή χρησιμοποιώντας μια λεπτή μεμβράνη πεπιεσμένου αέρα, επιτυγχάνοντας σχεδόν μηδενική κίνηση τριβής.
Αρχή ρουλεμάν αέρα
Τα ρουλεμάν αέρα λειτουργούν εισάγοντας πεπιεσμένο αέρα μεταξύ δύο επιφανειών, σχηματίζοντας μια μεμβράνη αέρα 2-20 μm.
Αυτό εξαλείφει:
- Μηχανική τριβή
- Φθορά
- Συμπεριφορά ολίσθησης
Το σύστημα βασίζεται στη δυναμική της ρευστοϋπολογιστικής μεμβράνης και στη σταθερή στρωτή ροή.
Ο ρόλος του γρανίτη
Ο γρανίτης παρέχει:
- Δομική σταθερότητα
- Καταστολή θερμικής μετατόπισης
- Απόσβεση κραδασμών
Χρησιμεύει ως η μηχανική βάση αναφοράς για το σύστημα κίνησης.
Στοιχεία συστήματος
- Βάση γρανίτη
- Πέλματα με ρουλεμάν αέρα
- Σύστημα παροχής αέρα
- Κωδικοποιητές ακριβείας
- Σύστημα ελέγχου κίνησης
Χαρακτηριστικά απόδοσης
Η τυπική απόδοση περιλαμβάνει:
- Ακρίβεια τοποθέτησης υπομικρών
- Υψηλή ευθύτητα σε μεγάλα ταξίδια
- Μηδενική μηχανική αντίδραση
Οι βασικές πηγές σφάλματος περιλαμβάνουν την αστάθεια της πίεσης του αέρα, τη θερμική μετατόπιση και το σφάλμα του κωδικοποιητή.
Εφαρμογές
- Επιθεώρηση πλακιδίων ημιαγωγών
- Συστήματα λιθογραφίας
- Πλατφόρμες οπτικής ευθυγράμμισης
- Μηχανές μετρολογίας υψηλής τεχνολογίας
Συχνές ερωτήσεις
Φθάνουν τα ρουλεμάν αέρα;
Η μη μηχανική επαφή εξαλείφει τη φθορά.
Γιατί να χρησιμοποιήσετε γρανίτη;
Για σταθερότητα και απόσβεση κραδασμών.
Τι περιορίζει την ακρίβεια;
Σταθερότητα αέρα και θερμικές επιδράσεις.
Μπορούν να μεταφέρουν βαριά φορτία;
Ναι, ανάλογα με το σχέδιο.
Ώρα δημοσίευσης: 03 Ιουλίου 2026