Η Επανάσταση της Ακριβείας στην Κατασκευή Ημιαγωγών: Όταν ο γρανίτης συναντά την τεχνολογία των μικρονίων
1.1 Απροσδόκητες ανακαλύψεις στην επιστήμη των υλικών
Σύμφωνα με την έκθεση της Διεθνούς Ένωσης Ημιαγωγών SEMI του 2023, το 63% των προηγμένων εργοστασίων παγκοσμίως έχουν αρχίσει να χρησιμοποιούν βάσεις από γρανίτη αντί για παραδοσιακές μεταλλικές πλατφόρμες. Αυτή η φυσική πέτρα, η οποία προέρχεται από συμπύκνωση μάγματος βαθιά στη Γη, ξαναγράφει την ιστορία της κατασκευής ημιαγωγών λόγω των μοναδικών φυσικών ιδιοτήτων της:
Πλεονέκτημα θερμικής αδράνειας: ο συντελεστής θερμικής διαστολής του γρανίτη 4,5×10⁻⁶/℃ είναι μόνο το 1/5 αυτού του ανοξείδωτου χάλυβα και η διαστατική σταθερότητα ±0,001mm διατηρείται στη συνεχή εργασία της μηχανής λιθογραφίας.
Χαρακτηριστικά απόσβεσης κραδασμών: ο συντελεστής εσωτερικής τριβής είναι 15 φορές υψηλότερος από αυτόν του χυτοσιδήρου, απορροφώντας αποτελεσματικά τους μικροκραδασμούς του εξοπλισμού
Μηδενική φύση μαγνήτισης: εξαλείψτε πλήρως το μαγνητικό σφάλμα στη μέτρηση λέιζερ
1.2 Το ταξίδι της μεταμόρφωσης από το δικό μου στο εργοστάσιο
Λαμβάνοντας ως παράδειγμα την έξυπνη παραγωγική βάση της ZHHIMG στο Shandong, ένα κομμάτι ακατέργαστου γρανίτη πρέπει να υποβληθεί σε:
Κατεργασία εξαιρετικά ακριβείας: κέντρο κατεργασίας με πέντε άξονες σύνδεσης για 200 ώρες συνεχούς άλεσης, τραχύτητα επιφάνειας έως Ra0,008μm
Τεχνητή επεξεργασία γήρανσης: 48 ώρες φυσικής απελευθέρωσης τάσης στο εργαστήριο σταθερής θερμοκρασίας και υγρασίας, η οποία βελτιώνει τη σταθερότητα του προϊόντος κατά 40%.
Δεύτερον, λύστε τα έξι προβλήματα ακριβείας της κατασκευής ημιαγωγών "λύση βράχου"
2.1 Σχέδιο μείωσης του ρυθμού κατακερματισμού των πλακιδίων
Επίδειξη περίπτωσης: Μετά την υιοθέτηση της πλατφόρμας μας από πλωτό γρανίτη αερίου από ένα χυτήριο τσιπ στη Γερμανία:
| Διάμετρος γκοφρέτας | μείωση του ποσοστού τσιπ | βελτίωση της επιπεδότητας |
| 12 ίντσες | 67% | ≤0,001 χιλιοστά |
| 18 ίντσες | 82% | ≤0,0005mm |
2.2 Σχήμα θραύσης ακρίβειας λιθογραφικής ευθυγράμμισης
Σύστημα αντιστάθμισης θερμοκρασίας: ενσωματωμένος κεραμικός αισθητήρας παρακολουθεί τη μεταβλητή σχήματος σε πραγματικό χρόνο και ρυθμίζει αυτόματα την κλίση της πλατφόρμας
Μετρημένα δεδομένα: υπό διακύμανση 28℃±5℃, η ακρίβεια ενσωμάτωσης κυμαίνεται λιγότερο από 0,12μm
Ώρα δημοσίευσης: 24 Μαρτίου 2025