Στους τομείς της ακριβούς κατασκευής και της επιστημονικής έρευνας, η επιπεδότητα των πλατφορμών ακριβείας από γρανίτη αποτελεί βασικό δείκτη για τη διασφάλιση της ακρίβειας του εξοπλισμού. Ακολουθεί μια λεπτομερής εισαγωγή σε διάφορες κύριες μεθόδους ανίχνευσης και τις διαδικασίες λειτουργίας τους για εσάς.
I. Μέθοδος ανίχνευσης με συμβολόμετρο λέιζερ
Το συμβολόμετρο λέιζερ είναι το προτιμώμενο εργαλείο για την ανίχνευση επιπεδότητας υψηλής ακρίβειας. Πάρτε για παράδειγμα το συμβολόμετρο λέιζερ ZYGO GPI XP, η ανάλυσή του μπορεί να φτάσει τα 0,1 nm. Κατά την εκτέλεση της ανίχνευσης, ευθυγραμμίστε πρώτα την πηγή φωτός του συμβολόμετρου με την πλατφόρμα και διαιρέστε την επιφάνεια της πλατφόρμας σε περιοχές πλέγματος 50mm×50mm. Στη συνέχεια, τα δεδομένα κροσσών συμβολής συλλέχθηκαν σημείο προς σημείο και τα δεδομένα προσαρμόστηκαν και αναλύθηκαν χρησιμοποιώντας το πολυώνυμο Zernike για να ληφθεί το σφάλμα επιπεδότητας. Αυτή η μέθοδος εφαρμόζεται σε πλατφόρμες υψηλής ακρίβειας και μπορεί να ανιχνεύσει σφάλματα επιπεδότητας ≤0,5μm/m². Χρησιμοποιείται συνήθως στην ανίχνευση μηχανών φωτολιθογραφίας και πλατφορμών μηχανών μέτρησης τριών συντεταγμένων υψηλής τεχνολογίας.
II. Μέθοδος Ηλεκτρονικού Πίνακα Επιπέδου
Η ηλεκτρονική ανίχνευση επιπέδου είναι απλή στη λειτουργία και εξαιρετικά αποτελεσματική. Το ηλεκτρονικό επίπεδο TESA A2 (με ανάλυση 0,01μm/m) επιλέχθηκε και τοποθετήθηκε σε μια διάταξη 9×9 κατά μήκος της κατεύθυνσης του άξονα X/Y της πλατφόρμας. Συλλέγοντας ταυτόχρονα τα δεδομένα κλίσης κάθε επιπέδου και στη συνέχεια χρησιμοποιώντας τη μέθοδο των ελαχίστων τετραγώνων για τον υπολογισμό, μπορεί να ληφθεί με ακρίβεια η τιμή επιπεδότητας. Αυτή η μέθοδος μπορεί να προσδιορίσει αποτελεσματικά τις τοπικές συνθήκες κοιλότητας και κυρτότητας της πλατφόρμας. Για παράδειγμα, μπορεί επίσης να ανιχνευθεί μια διακύμανση 0,2μm εντός εύρους 50mm, η οποία είναι κατάλληλη για ταχεία ανίχνευση στη μαζική παραγωγή.
Iii. Μέθοδος οπτικού επίπεδου κρυστάλλου
Η μέθοδος οπτικού επίπεδου κρυστάλλου είναι κατάλληλη για την ανίχνευση πλατφορμών μικρής επιφάνειας. Συνδέστε τον οπτικό επίπεδο κρύσταλλο σφιχτά στην επιφάνεια που πρόκειται να δοκιμαστεί στην πλατφόρμα και παρατηρήστε τις κροσσούς συμβολής που σχηματίζονται μεταξύ τους υπό τον φωτισμό μιας μονοχρωματικής πηγής φωτός (όπως μια λάμπα νατρίου). Εάν οι λωρίδες είναι παράλληλες ευθείες λωρίδες, αυτό υποδηλώνει καλή επιπεδότητα. Εάν εμφανιστούν καμπύλες λωρίδες, υπολογίστε το σφάλμα επιπεδότητας με βάση τον βαθμό καμπυλότητας της λωρίδας. Κάθε καμπύλη λωρίδα αντιπροσωπεύει μια διαφορά ύψους 0,316 μm και τα δεδομένα επιπεδότητας μπορούν να ληφθούν μέσω απλής μετατροπής.
Τέσσερα. Μέθοδος επιθεώρησης μηχανής μέτρησης τριών συντεταγμένων
Η μηχανή μέτρησης τριών συντεταγμένων μπορεί να επιτύχει μετρήσεις υψηλής ακρίβειας σε τρισδιάστατο χώρο. Τοποθετήστε την πλατφόρμα γρανίτη στην επιφάνεια εργασίας της μηχανής μέτρησης και χρησιμοποιήστε τον αισθητήρα για να συλλέξετε ομοιόμορφα δεδομένα από πολλαπλά σημεία μέτρησης στην επιφάνεια της πλατφόρμας. Το σύστημα της μηχανής μέτρησης επεξεργάζεται και αναλύει αυτά τα δεδομένα για να δημιουργήσει μια αναφορά επιπεδότητας της πλατφόρμας. Αυτή η μέθοδος όχι μόνο μπορεί να ανιχνεύσει την επιπεδότητα, αλλά και να λάβει ταυτόχρονα άλλες γεωμετρικές παραμέτρους της πλατφόρμας και είναι κατάλληλη για την ολοκληρωμένη ανίχνευση μεγάλων πλατφορμών γρανίτη.
Η εξοικείωση με αυτές τις μεθόδους ανίχνευσης μπορεί να σας βοηθήσει να αξιολογήσετε με ακρίβεια την επιπεδότητα της πλατφόρμας ακριβείας από γρανίτη και να παρέχετε μια αξιόπιστη εγγύηση για τη σταθερή λειτουργία του εξοπλισμού ακριβείας.
Ώρα δημοσίευσης: 29 Μαΐου 2025