Βάση από γρανίτη: Ο «κρυφός πρωταθλητής» της αυλάκωσης wafer! Γιατί να παραμένει κανείς στην κεντρική θέση;

Στον τομέα της αυλάκωσης πλακιδίων ημιαγωγών, η ακρίβεια είναι η σωτηρία. Μια απλή βάση γρανίτη μπορεί να επιφέρει ένα ποιοτικό άλμα στην απόδοση του εξοπλισμού αυλάκωσης! Ποιες «υπερδυνάμεις» κρύβει στην πραγματικότητα; Γιατί λέγεται ότι η επιλογή της σωστής βάσης γρανίτη σημαίνει ότι έχετε πετύχει μέχρι τη μέση; Σήμερα, θα σας το αποκαλύψουμε σε βάθος!

Όργανα μέτρησης ακριβείας
I. Εγγενής Αντοχή: Τα Τρία «Εγγενή Πλεονεκτήματα» του Γρανίτη
Η σεισμική αντίσταση είναι τόσο σταθερή όσο το Όρος Τάι
Ο γρανίτης έχει πυκνότητα που φτάνει τα 2.800-3.100 kg/m³ και η δομή του είναι τόσο πυκνή όσο ένα "πέτρινο φρούριο". Στο περιβάλλον κραδασμών υψηλής συχνότητας της αυλάκωσης πλακιδίων (ο εξοπλισμός αυλακώνει πάνω από 100 φορές ανά λεπτό), μπορεί να απορροφήσει περισσότερο από το 90% της ενέργειας των κραδασμών, όπως ακριβώς και ο εξοπλισμός με "τεχνολογία απορρόφησης κραδασμών"! Τα δεδομένα μέτρησης από ένα συγκεκριμένο εργοστάσιο τσιπ δείχνουν ότι μετά τη χρήση της βάσης γρανίτη, το πλάτος τρεμοπαίγματος της κεφαλής κοπής αυλάκωσης έχει μειωθεί από 15μm σε 3μm και οι άκρες των μικροαυλακώσεων που έχουν σκαλιστεί είναι τόσο λείες όσο ένας καθρέφτης.
2. "Ανθεκτικό στη θερμότητα" Δεν φοβάται τις διαφορές θερμοκρασίας
Τα συνηθισμένα υλικά «διαστέλλονται και παραμορφώνονται» όταν θερμαίνονται και «συστέλλονται και παραμορφώνονται» όταν ψύχονται, αλλά ο συντελεστής θερμικής διαστολής του γρανίτη είναι τόσο χαμηλός όσο 4-8×10⁻⁶/℃, που είναι μόνο το 1/5 αυτού των μετάλλων! Ακόμα κι αν η θερμοκρασία στο εργαστήριο κυμαίνεται απότομα κατά 10℃ εντός 24 ωρών, η παραμόρφωσή της είναι μικρότερη από 0,01 mm και μπορεί σχεδόν να αγνοηθεί. Αυτό σημαίνει ότι ανεξάρτητα από την εναλλαγή ημέρας και νύχτας ή την παρατεταμένη λειτουργία και παραγωγή θερμότητας του εξοπλισμού, η βάση από γρανίτη μπορεί να διατηρεί τη θέση της σχισμής «ακίνητη» όλη την ώρα.
3. Άφθαρτη αντοχή στη φθορά
Η σκληρότητα Mohs του γρανίτη φτάνει το 6 έως 7, συγκρίσιμη με αυτή του χαλαζία, και η αντοχή του στη φθορά είναι τρεις φορές μεγαλύτερη από αυτή του συνηθισμένου χάλυβα! Υπό τη μακροχρόνια τριβή υψηλής συχνότητας της αυλάκωσης των πλακιδίων, η επιφάνεια της βάσης σπάνια φθείρεται. Μετά από πέντε χρόνια χρήσης βάσεων γρανίτη από ένα συγκεκριμένο χυτήριο, η επιπεδότητα διατηρήθηκε εντός ±0,5μm/m κατά την επιθεώρηση και η ακρίβεια της αυλάκωσης παρέμεινε σταθερή, εξοικονομώντας σημαντικό ποσό κόστους βαθμονόμησης και αντικατάστασης εξοπλισμού.
Ii. Ακριβής Προσαρμογή: Πώς ο Γρανίτης Πληροί τις Διαφορετικές Απαιτήσεις Αυλάκωσης;
Σκηνή 1: Εξαιρετικά λεπτές αυλακώσεις (μικρο-αυλακώσεις κάτω από 10μm)
Απαίτηση: Απόλυτη επιπεδότητα
Πλεονεκτήματα γρανίτη: Μέσω της υψηλής ακρίβειας επεξεργασίας σύνδεσης πέντε αξόνων, η επιπεδότητα μπορεί να ελεγχθεί εντός ±0,5μm/m, πράγμα που σημαίνει ότι σε μήκος 1 μέτρου, το σφάλμα ύψους είναι 200 ​​φορές λεπτότερο από μια ανθρώπινη τρίχα! Βεβαιωθείτε ότι η απόσταση μεταξύ της κεφαλής κοπής αυλάκωσης και της πλακέτας είναι πάντα ακριβής και ότι το σφάλμα πλάτους των μικροαυλακώσεων που σκαλίζονται δεν υπερβαίνει τα ±0,1μm.
Σκηνή 2: Υψηλής ταχύτητας αυλάκωση μαζικής παραγωγής
Απαίτηση: Εξαιρετική απόδοση απορρόφησης κραδασμών
Πλεονεκτήματα του γρανίτη: Οι φυσικές ιδιότητες απόσβεσης στο εσωτερικό του μπορούν να μετριάσουν γρήγορα τους κραδασμούς του εξοπλισμού. Αφού ένα συγκεκριμένο εργοστάσιο πάνελ εισήγαγε βάσεις γρανίτη, η ταχύτητα αυλάκωσης αυξήθηκε κατά 40% και ο ρυθμός απόδοσης αυξήθηκε από 85% σε 96%, επιτυγχάνοντας διπλή συγκομιδή αποδοτικότητας και ποιότητας παραγωγής!
Σκηνή 3: Αυλάκωση σε πολύπλοκο περιβάλλον (Υψηλή θερμοκρασία/διάβρωση)
Απαιτήσεις: Αντοχή σε υψηλές θερμοκρασίες και αντοχή στη διάβρωση
Πλεονεκτήματα του γρανίτη: Εξαιρετικά ισχυρή χημική σταθερότητα, αντοχή στη διάβρωση από όξινα και αλκάλια. Έχει χαμηλό συντελεστή θερμικής διαστολής και δεν παραμορφώνεται ακόμη και στην τοπική υψηλή θερμοκρασία (150℃) κατά τη διάρκεια της αυλάκωσης με λέιζερ. Μια βάση γρανίτη που χρησιμοποιείται σε ένα συγκεκριμένο εργαστήριο με διαβρωτικό διάλυμα αυλάκωσης χρησιμοποιείται συνεχώς για τρία χρόνια και η επιφάνεια της βάσης παραμένει άθικτη.
Iii. Πώς να επιλέξετε μια «γνήσια βάση γρανίτη υψηλής ποιότητας»;
Κοιτάξτε την πυκνότητα: Ο γρανίτης με πυκνότητα ≥2800kg/m³ έχει πιο συμπαγή δομή.
Ελέγξτε τις πιστοποιήσεις: Βεβαιωθείτε ότι αναγνωρίζετε έγκυρες πιστοποιήσεις όπως το ISO 9001 και το CNAS για να διασφαλίσετε την ποιότητα.
Δεδομένα επαλήθευσης: Ο κατασκευαστής υποχρεούται να παρέχει εκθέσεις δοκιμών σχετικά με τον συντελεστή θερμικής διαστολής (< 8×10⁻⁶/℃) και την επιπεδότητα (±0,5μm/m).
Επιτόπια δοκιμή: Χτυπήστε ελαφρά τη βάση. Ένας καθαρός ήχος υποδεικνύει ότι δεν υπάρχουν ρωγμές στο εσωτερικό. Εάν η επιφάνεια αφής είναι λεία σαν καθρέφτης, αυτό υποδηλώνει υψηλή ακρίβεια επεξεργασίας.
Συμπέρασμα: Επιλέξτε τον σωστό γρανίτη και κερδίστε τη μισή μάχη στην αυλάκωση!
Από την αντοχή σε κραδασμούς, την αντοχή στη θερμότητα έως την αντοχή στη φθορά, η βάση από γρανίτη, με τη «φυσική ομορφιά» και την «σκληρή αντοχή» της, έχει γίνει ο χρυσός συνεργάτης για τον εξοπλισμό αυλάκωσης πλακιδίων. Στη σημερινή εποχή κατασκευής ημιαγωγών που επιδιώκει την ακρίβεια σε νανοκλίμακα, μια βάση από γρανίτη υψηλής ποιότητας δεν αποτελεί μόνο μια επένδυση σε εξοπλισμό, αλλά και μια μακροπρόθεσμη εγγύηση για την αποδοτικότητα της παραγωγής και την ποιότητα των προϊόντων!

ακριβείας γρανίτη09


Ώρα δημοσίευσης: 17 Ιουνίου 2025