Στο εργαστήριο κατασκευής ημιαγωγών, οι απαιτήσεις της διαδικασίας κατασκευής τσιπ για τις περιβαλλοντικές συνθήκες και την ακρίβεια του εξοπλισμού είναι ακραίες και οποιαδήποτε μικρή απόκλιση μπορεί να οδηγήσει σε σημαντική μείωση της απόδοσης του τσιπ. Η πλατφόρμα κίνησης γερανογέφυρας ακριβείας XYZT βασίζεται σε εξαρτήματα από γρανίτη για να συνεργαστεί με άλλα μέρη της πλατφόρμας, ώστε να δημιουργήσει μια σταθερή βάση για την επίτευξη ακρίβειας σε νανοκλίμακα.
Εξαιρετικές ιδιότητες αποκλεισμού κραδασμών
Στο εργαστήριο κατασκευής ημιαγωγών, η λειτουργία περιφερειακού εξοπλισμού και το προσωπικό που περπατά τριγύρω μπορεί να προκαλέσει κραδασμούς. Η εσωτερική δομή των γρανιτένιων εξαρτημάτων είναι πυκνή και ομοιόμορφη, με φυσικά υψηλά χαρακτηριστικά απόσβεσης, σαν ένα αποτελεσματικό "φράγμα" κραδασμών. Όταν η εξωτερική δόνηση μεταδίδεται στην πλατφόρμα XYZT, το γρανιτένιο εξάρτημα μπορεί να μετριάσει αποτελεσματικά περισσότερο από το 80% της ενέργειας κραδασμών και να μειώσει την παρεμβολή των κραδασμών στην ακρίβεια κίνησης της πλατφόρμας. Ταυτόχρονα, η πλατφόρμα είναι εξοπλισμένη με ένα σύστημα οδηγού πλωτήρα αέρα υψηλής ακρίβειας, το οποίο λειτουργεί σε συνδυασμό με εξαρτήματα γρανίτη. Ο οδηγός πλωτήρα αέρα χρησιμοποιεί τη σταθερή μεμβράνη αερίου που σχηματίζεται από αέριο υψηλής πίεσης για να πραγματοποιήσει την ανέπαφη κίνηση ανάρτησης των κινούμενων μερών της πλατφόρμας και να μειώσει τους μικρούς κραδασμούς που προκαλούνται από τη μηχανική τριβή. Μαζί, τα δύο διασφαλίζουν ότι η ακρίβεια τοποθέτησης της πλατφόρμας διατηρείται πάντα σε επίπεδο νανομέτρου σε βασικές διαδικασίες όπως η λιθογραφία και η χάραξη τσιπ, και αποφεύγουν την απόκλιση των μοτίβων κυκλώματος τσιπ που προκαλείται από κραδασμούς.
Εξαιρετική θερμική σταθερότητα
Η διακύμανση της θερμοκρασίας και της υγρασίας στο εργαστήριο έχει μεγάλη επίδραση στην ακρίβεια του εξοπλισμού κατασκευής τσιπ. Ο συντελεστής θερμικής διαστολής του γρανίτη είναι πολύ χαμηλός, γενικά 5-7 ×10⁻⁶/℃, το μέγεθος παραμένει σχεδόν αμετάβλητο όταν αλλάζει η θερμοκρασία. Ακόμα κι αν η διαφορά θερμοκρασίας μεταξύ ημέρας και νύχτας στο εργαστήριο ή η παραγωγή θερμότητας του εξοπλισμού προκαλέσει διακυμάνσεις στη θερμοκρασία περιβάλλοντος, τα εξαρτήματα του γρανίτη μπορούν να παραμείνουν σταθερά για να αποτρέψουν την παραμόρφωση της πλατφόρμας λόγω θερμικής διαστολής και συστολής. Ταυτόχρονα, το έξυπνο σύστημα ελέγχου θερμοκρασίας που είναι εξοπλισμένο με την πλατφόρμα παρακολουθεί τη θερμοκρασία περιβάλλοντος σε πραγματικό χρόνο, ρυθμίζει αυτόματα τον εξοπλισμό κλιματισμού και απαγωγής θερμότητας και διατηρεί τη θερμοκρασία του εργαστηρίου στους 20 °C ±1 °C. Σε συνδυασμό με τα πλεονεκτήματα της θερμικής σταθερότητας του γρανίτη, διασφαλίζεται ότι η πλατφόρμα σε μακροχρόνια λειτουργία, η ακρίβεια κίνησης κάθε άξονα πληροί πάντα τα πρότυπα ακρίβειας νανομέτρων κατασκευής τσιπ, για να διασφαλιστεί ότι το μέγεθος του μοτίβου λιθογραφίας τσιπ είναι ακριβές, το βάθος χάραξης είναι ομοιόμορφο.
Ικανοποιήστε τις ανάγκες για καθαρό περιβάλλον
Το εργαστήριο κατασκευής ημιαγωγών πρέπει να διατηρεί υψηλό βαθμό καθαριότητας για να αποτρέψει τη μόλυνση του τσιπ από σωματίδια σκόνης. Το ίδιο το υλικό γρανίτη δεν παράγει σκόνη και η επιφάνεια είναι λεία, δεν απορροφά εύκολα τη σκόνη. Η πλατφόρμα στο σύνολό της υιοθετεί έναν πλήρως κλειστό ή ημικλειστό σχεδιασμό δομής για να μειώσει την είσοδο εξωτερικής σκόνης. Το εσωτερικό σύστημα κυκλοφορίας αέρα συνδέεται με το σύστημα καθαρού κλιματισμού του εργαστηρίου για να διασφαλίσει ότι η καθαριότητα του εσωτερικού αέρα φτάνει στο επίπεδο που απαιτείται για την κατασκευή τσιπ. Σε αυτό το καθαρό περιβάλλον, τα εξαρτήματα γρανίτη δεν θα επηρεάσουν την απόδοση λόγω διάβρωσης σκόνης και βασικά εξαρτήματα όπως οι αισθητήρες υψηλής ακρίβειας και οι κινητήρες της πλατφόρμας μπορούν επίσης να λειτουργούν σταθερά, παρέχοντας συνεχή και αξιόπιστη εγγύηση ακρίβειας νανοκλίμακας για την κατασκευή τσιπ και βοηθώντας τη βιομηχανία ημιαγωγών να προχωρήσει σε υψηλότερο επίπεδο διεργασιών.
Ώρα δημοσίευσης: 14 Απριλίου 2025