Στον ακριβή κόσμο της κατασκευής ημιαγωγών, οι μη καταστροφικές δοκιμές των πλακιδίων (wafers) αποτελούν βασικό κρίκο για τη διασφάλιση της ποιότητας των τσιπ. Η φαινομενικά ασήμαντη βάση από γρανίτη είναι στην πραγματικότητα ο «αφανής ήρωας» που καθορίζει την ακρίβεια ανίχνευσης. Πώς επηρεάζει τα αποτελέσματα των δοκιμών; Αυτό το άρθρο θα διεξάγει μια εις βάθος ανάλυση από διαστάσεις όπως οι ιδιότητες των υλικών και ο δομικός σχεδιασμός.
1. Σταθερή βάση: Τα φυσικά πλεονεκτήματα του γρανίτη θέτουν μια σταθερή βάση για ακρίβεια
1. Άριστη σεισμική απόδοση
Κατά τη λειτουργία του εξοπλισμού μη καταστροφικών δοκιμών πλακιδίων, η περιστροφή του κινητήρα και η κίνηση των μηχανικών εξαρτημάτων θα δημιουργήσουν κραδασμούς. Εάν αυτές οι κραδασμοί δεν κατασταλούν αποτελεσματικά, θα επηρεάσουν σοβαρά την ακρίβεια των δοκιμών. Το εσωτερικό του γρανίτη είναι στενά συνυφασμένο με ορυκτούς κρυστάλλους όπως χαλαζία και άστριο. Η μοναδική του δομή του προσδίδει μια φυσική ικανότητα απορρόφησης κραδασμών, ικανή να απορροφήσει πάνω από το 90% της ενέργειας κραδασμών του εξοπλισμού. Τα πραγματικά δεδομένα μετρήσεων ενός συγκεκριμένου κατασκευαστή ημιαγωγών δείχνουν ότι μετά τη χρήση της βάσης γρανίτη, το πλάτος κραδασμών του εξοπλισμού ανίχνευσης έχει μειωθεί από 12μm σε 2μm, αποφεύγοντας αποτελεσματικά την απόκλιση του σήματος ανίχνευσης που προκαλείται από κραδασμούς.
2. Εξαιρετικά χαμηλός συντελεστής θερμικής διαστολής
Κατά τη διάρκεια της διαδικασίας ανίχνευσης, παράγοντες όπως η θέρμανση του εξοπλισμού και οι αλλαγές στη θερμοκρασία περιβάλλοντος θα επηρεάσουν τη σταθερότητα της βάσης του μηχανήματος. Τα συνηθισμένα υλικά διαστέλλονται σημαντικά όταν θερμαίνονται, αλλά ο συντελεστής θερμικής διαστολής του γρανίτη είναι μόνο το 1/5 αυτού του χάλυβα. Ακόμα κι αν η θερμοκρασία περιβάλλοντος κυμαίνεται κατά 10℃, η παραμόρφωσή του μπορεί να αγνοηθεί. Αυτό επιτρέπει στη βάση του γρανίτη να παρέχει μια σταθερή πλατφόρμα αναφοράς για τον εξοπλισμό επιθεώρησης, διασφαλίζοντας ότι η σχετική θέση μεταξύ του αισθητήρα επιθεώρησης και της πλακέτας παραμένει ακριβής ανά πάσα στιγμή και αποφεύγοντας σφάλματα επιθεώρησης που προκαλούνται από θερμική παραμόρφωση.
Δεύτερον, ακριβής σχεδιασμός: Η βελτιστοποίηση της δομής ενισχύει περαιτέρω την αξιοπιστία της ανίχνευσης
Υψηλής ακρίβειας επεξεργασία και εγγύηση επιπεδότητας
Η βάση από γρανίτη υψηλής ποιότητας υποβάλλεται σε επεξεργασία με προηγμένη τεχνολογία CNC σύνδεσης πέντε αξόνων, με επιπεδότητα ±0,5μm/m, παρέχοντας μια εξαιρετικά επίπεδη αναφορά εγκατάστασης για τον εξοπλισμό επιθεώρησης. Στην επιθεώρηση πλακιδίων, η κατακόρυφοτητα και η οριζόντια θέση του αισθητήρα επιθεώρησης είναι κρίσιμες για τα αποτελέσματα της επιθεώρησης. Μια βάση από γρανίτη υψηλής ακρίβειας μπορεί να διασφαλίσει την ακριβή τοποθέτηση του αισθητήρα, καθιστώντας τα δεδομένα επιθεώρησης πιο ακριβή και αξιόπιστα.
2. Προσαρμοσμένη δομική προσαρμογή
Οι βάσεις μηχανών από γρανίτη μπορούν να προσαρμοστούν για διαφορετικό εξοπλισμό μη καταστροφικών δοκιμών πλακιδίων και απαιτήσεις διεργασίας. Για παράδειγμα, για την κάλυψη των απαιτήσεων του εξοπλισμού οπτικής επιθεώρησης για την ανάκλαση του φωτός, η επιφάνεια της βάσης της μηχανής μπορεί να υποστεί ειδική επεξεργασία. Για την κάλυψη των απαιτήσεων εγκατάστασης του εξοπλισμού υπερηχητικών δοκιμών, η βάση μπορεί να προκατασκευαστεί με ακριβείς οπές εγκατάστασης και σχάρες καλωδίων, επιτρέποντας την ταχεία και ακριβή εγκατάσταση του εξοπλισμού και μειώνοντας τις αποκλίσεις ανίχνευσης που προκαλούνται από σφάλματα εγκατάστασης.
Iii. Μακροπρόθεσμη σταθερότητα: Μειώστε την απώλεια ακρίβειας που προκαλείται από τη συντήρηση του εξοπλισμού
Ο γρανίτης έχει υψηλή σκληρότητα και ισχυρή αντοχή στη φθορά, με σκληρότητα Mohs 6 έως 7, η οποία είναι τρεις φορές η αντοχή στη φθορά του συνηθισμένου χάλυβα. Κατά τη διάρκεια μακροχρόνιων εργασιών επιθεώρησης, η επιφάνεια της βάσης του μηχανήματος δεν είναι επιρρεπής σε φθορά και μπορεί πάντα να διατηρεί καλή κατάσταση ακρίβειας. Αντίθετα, οι βάσεις που κατασκευάζονται από άλλα υλικά ενδέχεται να προκαλέσουν αλλαγές στην αναφορά εγκατάστασης του εξοπλισμού λόγω φθοράς, επηρεάζοντας έτσι την ακρίβεια ανίχνευσης και απαιτώντας συχνή βαθμονόμηση και συντήρηση. Η μεγάλη διάρκεια ζωής και η υψηλή σταθερότητα της βάσης γρανίτη μειώνουν αποτελεσματικά τη συχνότητα συντήρησης του εξοπλισμού και μειώνουν τον κίνδυνο απώλειας ακρίβειας που μπορεί να προκύψει κατά τη διαδικασία συντήρησης.
Από την αντοχή σε κραδασμούς, την αντοχή στη θερμότητα έως τον ακριβή σχεδιασμό, κάθε χαρακτηριστικό της βάσης από γρανίτη διασφαλίζει την ακρίβεια των μη καταστροφικών δοκιμών των πλακιδίων. Στη σημερινή εποχή κατασκευής ημιαγωγών που επιδιώκει την απόλυτη ακρίβεια, η επιλογή μιας βάσης από γρανίτη υψηλής ποιότητας είναι σαν να προσθέτετε ένα σταθερό επίπεδο ασφάλειας στην ακρίβεια και την αξιοπιστία των αποτελεσμάτων των δοκιμών.
Ώρα δημοσίευσης: 18 Ιουνίου 2025