Στον τομέα της κατασκευής ημιαγωγών, η ακρίβεια υπομικρών είναι το κλειδί για τη διασφάλιση της απόδοσης των τσιπ και η βάση από γρανίτη (ZHHIMG®), με τις ιδιότητες των υλικών της, την ακριβή επεξεργασία και τον καινοτόμο σχεδιασμό της, έχει γίνει η βασική εγγύηση για την επίτευξη αυτής της ακρίβειας.
Από την άποψη των ιδιοτήτων των υλικών, ο μαύρος γρανίτης που επιλέγεται από την ZHHIMG® έχει πυκνότητα περίπου 3100kg/m³, με πυκνή εσωτερική δομή. Αυτή η υψηλή πυκνότητα του προσδίδει εξαιρετική σταθερότητα και ακαμψία. Κατά τη λειτουργία του ημιαγωγικού εξοπλισμού, η περιστροφή των κινητήρων και η κίνηση των μηχανικών εξαρτημάτων στο εσωτερικό του εξοπλισμού δημιουργούν δονήσεις. Η βάση από γρανίτη μπορεί να απορροφήσει αποτελεσματικά πάνω από το 90% της ενέργειας των δονήσεων, μειώνοντας σημαντικά την επίδραση των δονήσεων στην ακρίβεια του εξοπλισμού. Εν τω μεταξύ, ο εξαιρετικά χαμηλός συντελεστής θερμικής διαστολής του επιτρέπει να διατηρεί την παραμόρφωσή του σε πολύ μικρό εύρος όταν η θερμοκρασία περιβάλλοντος κυμαίνεται, παρέχοντας μια σταθερή βάση στήριξης για τον ημιαγωγικό εξοπλισμό και αποτρέποντας την μετατόπιση των εξαρτημάτων του εξοπλισμού λόγω αλλαγών θερμοκρασίας, οι οποίες θα μπορούσαν να επηρεάσουν την ακρίβεια.
Όσον αφορά την επεξεργασία και την κατασκευή, το εργοστάσιο της ZHHIMG® υιοθετεί διεθνή προηγμένο εξοπλισμό επεξεργασίας και διαθέτει τέσσερις υπερμεγέθεις μηχανές λείανσης (κάθε μηχανή κοστίζει πάνω από 500.000 δολάρια ΗΠΑ), οι οποίες μπορούν να εκτελέσουν λείανση υψηλής ακρίβειας σε γρανίτη. Μέσω κατεργασίας CNC με πέντε άξονες και άλλων διαδικασιών, η επιπεδότητα της βάσης της μηχανής μπορεί να φτάσει το επίπεδο του νανομέτρου, παρέχοντας μια εξαιρετικά επίπεδη επιφάνεια αναφοράς για την εγκατάσταση εξοπλισμού ημιαγωγών και εξασφαλίζοντας την ακριβή τοποθέτηση κάθε εξαρτήματος του εξοπλισμού. Επιπλέον, το εργαστήριο σταθερής θερμοκρασίας και υγρασίας (που καλύπτει μια έκταση 10.000 τετραγωνικών μέτρων) παρέχει ένα σταθερό περιβάλλον για την επεξεργασία. Οι τάφροι αντικραδασμικής προστασίας πλάτους 500 mm και βάθους 2000 mm γύρω από αυτό, καθώς και οι αθόρυβοι γερανοί, απομονώνουν αποτελεσματικά τις εξωτερικές παρεμβολές κραδασμών και διασφαλίζουν την ακρίβεια επεξεργασίας της βάσης της μηχανής.
Επιπλέον, το ZHHIMG® διαθέτει επίσης ισχυρή δυνατότητα προσαρμογής. Για τις ειδικές απαιτήσεις του εξοπλισμού ημιαγωγών, οι ακριβείς οπές εγκατάστασης και οι σχάρες καλωδίων μπορούν να προκατασκευαστούν για να επιτευχθεί τέλεια συμβατότητα μεταξύ του εξοπλισμού και της βάσης. Ταυτόχρονα, σε συνδυασμό με εξοπλισμό μετρολογίας και δοκιμών παγκόσμιας κλάσης, όπως το γερμανικό λεπτόμετρο Mahr (με ακρίβεια 0,5 μm) και το ελβετικό ηλεκτρονικό επίπεδο WYLER, η βάση του μηχανήματος ελέγχεται και βαθμονομείται αυστηρά για να διασφαλιστεί ότι κάθε βάση μηχανήματος μπορεί να πληροί τις αυστηρές απαιτήσεις του εξοπλισμού ημιαγωγών για ακρίβεια επιπέδου υπομικρών.
Ακριβώς ο συνδυασμός αυτών των πλεονεκτημάτων καθιστά τη βάση γρανίτη ZHHIMG® μια αξιόπιστη επιλογή για την επίτευξη ακρίβειας υπομικρών σε εξοπλισμό ημιαγωγών, βοηθώντας την κατασκευή ημιαγωγών να κινηθεί προς πεδία υψηλότερης ακρίβειας.
Ώρα δημοσίευσης: 18 Ιουνίου 2025