Σε τομείς όπως η κατασκευή ημιαγωγών και τα όργανα μέτρησης ακριβείας, η ακρίβεια των πλατφορμών ακριβείας από γρανίτη καθορίζει άμεσα την λειτουργική ποιότητα του εξοπλισμού. Για να διασφαλιστεί ότι η ακρίβεια της πλατφόρμας πληροί τα πρότυπα, θα πρέπει να καταβληθούν προσπάθειες από δύο πλευρές: την ανίχνευση βασικών δεικτών και τη συμμόρφωση με τα πρότυπα.
Ανίχνευση βασικού δείκτη: Πολυδιάστατος έλεγχος ακρίβειας
Ανίχνευση επιπεδότητας: Προσδιορισμός της «επιπεδότητας» του επιπέδου αναφοράς
Η επιπεδότητα είναι ο βασικός δείκτης των πλατφορμών ακριβείας από γρανίτη και συνήθως μετριέται με συμβολόμετρα λέιζερ ή ηλεκτρονικά επίπεδα. Το συμβολόμετρο λέιζερ μπορεί να μετρήσει με ακρίβεια τις μικροσκοπικές κυματώσεις στην επιφάνεια της πλατφόρμας εκπέμποντας μια δέσμη λέιζερ και χρησιμοποιώντας την αρχή της φωτεινής παρεμβολής, με ακρίβεια που φτάνει το επίπεδο υπομικρών. Το ηλεκτρονικό επίπεδο μετρά μετακινούμενο πολλές φορές και σχεδιάζει έναν τρισδιάστατο χάρτη περιγράμματος της επιφάνειας της πλατφόρμας για να ανιχνεύσει εάν υπάρχουν τοπικές προεξοχές ή κοιλότητες. Για παράδειγμα, οι πλατφόρμες γρανίτη που χρησιμοποιούνται σε μηχανές φωτολιθογραφίας ημιαγωγών πρέπει να έχουν επιπεδότητα ±0,5μm/m, που σημαίνει ότι η διαφορά ύψους εντός μήκους 1 μέτρου δεν πρέπει να υπερβαίνει το μισό μικρόμετρο. Μόνο μέσω εξοπλισμού ανίχνευσης υψηλής ακρίβειας μπορεί να διασφαλιστεί αυτό το αυστηρό πρότυπο.
2. Ανίχνευση ευθύτητας: Εξασφαλίστε την «ευθύτητα» της γραμμικής κίνησης
Για πλατφόρμες που φέρουν κινούμενα μέρη ακριβείας, η ευθύτητα είναι ζωτικής σημασίας. Οι συνήθεις μέθοδοι ανίχνευσης είναι η μέθοδος με σύρμα ή ο κολυμβητής λέιζερ. Η μέθοδος με σύρμα περιλαμβάνει την ανάρτηση χαλύβδινων συρμάτων υψηλής ακρίβειας και τη σύγκριση του κενού μεταξύ της επιφάνειας της πλατφόρμας και των χαλύβδινων συρμάτων για τον προσδιορισμό της ευθύτητας. Ο κολυμβητής λέιζερ χρησιμοποιεί τα χαρακτηριστικά γραμμικής διάδοσης του λέιζερ για την ανίχνευση του γραμμικού σφάλματος της επιφάνειας εγκατάστασης της οδηγού πλατφόρμας. Εάν η ευθύτητα δεν πληροί το πρότυπο, θα προκαλέσει μετατόπιση του εξοπλισμού κατά την κίνηση, επηρεάζοντας την ακρίβεια επεξεργασίας ή μέτρησης.
3. Ανίχνευση τραχύτητας επιφάνειας: Εξασφαλίστε τη «λεπτότητα» της επαφής
Η τραχύτητα της επιφάνειας της πλατφόρμας επηρεάζει την εφαρμογή των εξαρτημάτων στην εγκατάσταση. Γενικά, για την ανίχνευση χρησιμοποιείται ένας μετρητής τραχύτητας με γραφίδα ή ένα οπτικό μικροσκόπιο. Το όργανο τύπου γραφίδας καταγράφει τις αλλαγές ύψους του μικροσκοπικού προφίλ φέρνοντας σε επαφή την επιφάνεια της πλατφόρμας με έναν λεπτό καθετήρα. Τα οπτικά μικροσκόπια μπορούν να παρατηρήσουν άμεσα την υφή της επιφάνειας. Σε εφαρμογές υψηλής ακρίβειας, η τραχύτητα της επιφάνειας των πλατφορμών από γρανίτη πρέπει να ελέγχεται σε Ra≤0,05μm, η οποία ισοδυναμεί με ένα φαινόμενο που μοιάζει με καθρέφτη, διασφαλίζοντας ότι τα εξαρτήματα ακριβείας εφαρμόζουν σφιχτά κατά την εγκατάσταση και αποφεύγοντας τους κραδασμούς ή την μετατόπιση που προκαλούνται από κενά.
Τα πρότυπα ακριβείας ακολουθούν: διεθνείς κανόνες και εσωτερικό έλεγχο της επιχείρησης
Προς το παρόν, διεθνώς, τα πρότυπα ISO 25178 και GB/T 24632 χρησιμοποιούνται συνήθως ως βάση για τον προσδιορισμό της ακρίβειας των πλατφορμών από γρανίτη, και υπάρχουν σαφείς ταξινομήσεις για δείκτες όπως η επιπεδότητα και η ευθύτητα. Επιπλέον, οι επιχειρήσεις υψηλής τεχνολογίας συχνά ορίζουν αυστηρότερα πρότυπα εσωτερικού ελέγχου. Για παράδειγμα, η απαίτηση επιπεδότητας για την πλατφόρμα από γρανίτη της φωτολιθογραφικής μηχανής είναι 30% υψηλότερη από το διεθνές πρότυπο. Κατά τη διεξαγωγή δοκιμών, τα μετρούμενα δεδομένα θα πρέπει να συγκρίνονται με τα αντίστοιχα πρότυπα. Μόνο οι πλατφόρμες που συμμορφώνονται πλήρως με τα πρότυπα μπορούν να διασφαλίσουν σταθερή απόδοση σε εξοπλισμό ακριβείας.
Ο έλεγχος της ακρίβειας των πλατφορμών ακριβείας από γρανίτη είναι ένα συστηματικό έργο. Μόνο με τον αυστηρό έλεγχο βασικών δεικτών όπως η επιπεδότητα, η ευθεία και η τραχύτητα της επιφάνειας, και με την τήρηση διεθνών και εταιρικών προτύπων, μπορεί να διασφαλιστεί η υψηλή ακρίβεια και αξιοπιστία της πλατφόρμας, θέτοντας μια σταθερή βάση για τομείς υψηλής τεχνολογίας όπως οι ημιαγωγοί και τα όργανα ακριβείας.
Ώρα δημοσίευσης: 21 Μαΐου 2025