Ο γρανίτης είναι ένα σκληρό και ανθεκτικό υλικό που χρησιμοποιείται συχνά στον κατασκευαστικό κλάδο. Ωστόσο, έχει επίσης ιδιότητες που τον καθιστούν χρήσιμο στην κατασκευή ημιαγωγών, ιδιαίτερα στην κατασκευή και επεξεργασία ολοκληρωμένων κυκλωμάτων. Τα εξαρτήματα από γρανίτη, όπως οι πίνακες γρανίτη και τα μπλοκ γρανίτη, χρησιμοποιούνται ευρέως για τη σταθερότητά τους, την επιπεδότητά τους και τον χαμηλό συντελεστή θερμικής διαστολής.
Μία από τις κύριες χρήσεις των εξαρτημάτων από γρανίτη στην κατασκευή ημιαγωγών είναι η διαδικασία κατασκευής. Οι πλακέτες πυριτίου, τα βασικά δομικά στοιχεία των ολοκληρωμένων κυκλωμάτων, πρέπει να κατασκευάζονται με υψηλή ακρίβεια και ακρίβεια. Οποιαδήποτε παραμόρφωση ή κίνηση κατά τη διάρκεια της διαδικασίας μπορεί να οδηγήσει σε ελαττώματα που μπορεί να επηρεάσουν την ποιότητα και τη λειτουργικότητα των ολοκληρωμένων κυκλωμάτων. Οι πλάκες από γρανίτη, με την υψηλή σταθερότητα και την επιπεδότητά τους, παρέχουν μια καλή πλατφόρμα για τον εξοπλισμό επεξεργασίας πλακιδίων. Είναι επίσης ανθεκτικές στη θερμική διαστολή και συστολή που προκαλούνται από τη θέρμανση και την ψύξη που απαιτούνται στη διαδικασία.
Τα μπλοκ γρανίτη χρησιμοποιούνται επίσης στην επεξεργασία ημιαγωγών για τη θερμική τους σταθερότητα. Κατά τη διάρκεια των διαδικασιών χάραξης ή εναπόθεσης, χρησιμοποιούνται θερμά αέρια ή πλάσματα για την τροποποίηση της επιφάνειας του πλακιδίου πυριτίου. Η θερμοκρασία του πλακιδίου πρέπει να ελέγχεται για να διασφαλιστεί ότι η διαδικασία εκτελείται αποτελεσματικά και με ακρίβεια. Τα μπλοκ γρανίτη, με τον χαμηλό συντελεστή θερμικής διαστολής τους, βοηθούν στη σταθεροποίηση της θερμοκρασίας του πλακιδίου, μειώνοντας τον κίνδυνο διακυμάνσεων της θερμοκρασίας που θα μπορούσαν να επηρεάσουν την ποιότητα του επεξεργασμένου υλικού.
Εκτός από τις διαδικασίες κατασκευής και επεξεργασίας, τα γρανιτένια εξαρτήματα χρησιμοποιούνται επίσης στα στάδια μετρολογίας και επιθεώρησης της κατασκευής ημιαγωγών. Πραγματοποιούνται μετρολογικές μετρήσεις για να διασφαλιστεί ότι το μέγεθος, το σχήμα και η θέση των δομών στο πλακίδιο είναι εντός των απαιτούμενων προδιαγραφών. Τα μπλοκ γρανίτη χρησιμοποιούνται ως πρότυπα αναφοράς σε αυτές τις μετρήσεις λόγω της διαστατικής σταθερότητας και της ακρίβειάς τους. Χρησιμοποιούνται επίσης σε στάδια επιθεώρησης, όπου η ποιότητα των ολοκληρωμένων κυκλωμάτων ελέγχεται υπό υψηλή μεγέθυνση.
Συνολικά, η χρήση εξαρτημάτων από γρανίτη στην κατασκευή ημιαγωγών έχει αυξηθεί τα τελευταία χρόνια. Η ανάγκη για υψηλή ακρίβεια, ορθότητα και σταθερότητα στην κατασκευή και την επεξεργασία ολοκληρωμένων κυκλωμάτων έχει οδηγήσει στην υιοθέτηση αυτών των υλικών από τους κατασκευαστές ημιαγωγών. Οι μοναδικές ιδιότητες του γρανίτη, όπως η σκληρότητα, η σταθερότητά του και ο χαμηλός συντελεστής θερμικής διαστολής, τον καθιστούν εξαιρετική επιλογή για χρήση σε αυτές τις διεργασίες. Με τη συνεχή ανάπτυξη και βελτίωση της τεχνολογίας ημιαγωγών, η χρήση εξαρτημάτων από γρανίτη αναμένεται να αυξηθεί περαιτέρω στο μέλλον.
Ώρα δημοσίευσης: 05-12-2023