Ο γρανίτης είναι ένα σκληρό και ανθεκτικό υλικό που χρησιμοποιείται συχνά στον κατασκευαστικό κλάδο. Ωστόσο, έχει επίσης ιδιότητες που το καθιστούν χρήσιμο στην κατασκευή ημιαγωγών, ιδιαίτερα στην κατασκευή και την επεξεργασία ολοκληρωμένων κυκλωμάτων. Τα εξαρτήματα γρανίτη, όπως τα τραπέζια γρανίτη και τα μπλοκ γρανίτη, χρησιμοποιούνται ευρέως για τη σταθερότητα, την επιπεδότητα τους και τον χαμηλό συντελεστή θερμικής διαστολής.
Μία από τις πρωταρχικές χρήσεις των εξαρτημάτων γρανίτη στην κατασκευή ημιαγωγών βρίσκεται στη διαδικασία κατασκευής. Τα δισκογραφικά δίσκους, τα βασικά δομικά στοιχεία των ολοκληρωμένων κυκλωμάτων, πρέπει να κατασκευαστούν με υψηλή ακρίβεια και ακρίβεια. Οποιαδήποτε παραμόρφωση ή κίνηση κατά τη διάρκεια της διαδικασίας μπορεί να οδηγήσει σε ελαττώματα που μπορεί να επηρεάσουν την ποιότητα και τη λειτουργικότητα των ολοκληρωμένων κυκλωμάτων. Τα τραπέζια γρανίτη, με την υψηλή σταθερότητα και την επιπεδότητα τους, παρέχουν μια καλή πλατφόρμα για τον εξοπλισμό επεξεργασίας πλακιδίων. Είναι επίσης ανθεκτικά στη θερμική επέκταση και τη συστολή που προκαλούνται από τη θέρμανση και την ψύξη που απαιτούνται στη διαδικασία.
Τα μπλοκ γρανίτη χρησιμοποιούνται επίσης στην επεξεργασία ημιαγωγών για τη θερμική σταθερότητα τους. Κατά τη διάρκεια της χάραξης ή των διαδικασιών εναπόθεσης, χρησιμοποιούνται καυτά αέρια ή πλάσματα για την τροποποίηση της επιφάνειας του δισκίου πυριτίου. Η θερμοκρασία του δισκίου πρέπει να ελέγχεται για να διασφαλιστεί ότι η διαδικασία πραγματοποιείται αποτελεσματικά και με ακρίβεια. Τα μπλοκ γρανίτη, με τον χαμηλό συντελεστή θερμικής διαστολής τους, βοηθούν στη σταθεροποίηση της θερμοκρασίας του δίσκου, μειώνοντας τον κίνδυνο διακυμάνσεων της θερμοκρασίας που θα μπορούσαν να επηρεάσουν την ποιότητα του επεξεργασμένου υλικού.
Εκτός από τις διαδικασίες κατασκευής και επεξεργασίας, τα εξαρτήματα γρανίτη χρησιμοποιούνται επίσης στα στάδια μετρολογίας και επιθεώρησης της παραγωγής ημιαγωγών. Οι μετρήσεις μετρολογίας γίνονται για να διασφαλιστεί ότι το μέγεθος, το σχήμα και η θέση των δομών στο δίσκο βρίσκονται εντός των απαιτούμενων προδιαγραφών. Τα μπλοκ γρανίτη χρησιμοποιούνται ως πρότυπα αναφοράς σε αυτές τις μετρήσεις λόγω της διαστασιακής τους σταθερότητας και ακρίβειας. Χρησιμοποιούνται επίσης σε στάδια επιθεώρησης, όπου η ποιότητα των ολοκληρωμένων κυκλωμάτων ελέγχεται υπό υψηλή μεγέθυνση.
Συνολικά, η χρήση εξαρτημάτων γρανίτη στην κατασκευή ημιαγωγών έχει αυξηθεί τα τελευταία χρόνια. Η ανάγκη υψηλής ακρίβειας, ακρίβειας και σταθερότητας στην κατασκευή και επεξεργασία ολοκληρωμένων κυκλωμάτων οδήγησε στην υιοθέτηση αυτών των υλικών από κατασκευαστές ημιαγωγών. Οι μοναδικές ιδιότητες του γρανίτη, όπως η σκληρότητα, η σταθερότητα και ο χαμηλός συντελεστής θερμικής επέκτασης, καθιστούν μια εξαιρετική επιλογή για χρήση σε αυτές τις διαδικασίες. Με τη συνεχιζόμενη ανάπτυξη και βελτίωση της τεχνολογίας ημιαγωγών, η χρήση εξαρτημάτων γρανίτη αναμένεται να αυξηθεί περαιτέρω στο μέλλον.
Χρόνος δημοσίευσης: Δεκέμβριος-05-2023