Τα υλικά γρανίτη χρησιμοποιούνται ευρέως στη βιομηχανία ημιαγωγών λόγω των εξαιρετικών χαρακτηριστικών τους, όπως η υψηλή σταθερότητα, η χαμηλή θερμική διαστολή και η υψηλή αντίσταση στη διάβρωση. Αυτές οι ιδιότητες καθιστούν τον γρανίτη ένα ιδανικό υλικό για την κατασκευή εξαρτημάτων υψηλής ακρίβειας σε ένα σύστημα μεταφοράς πλακιδίων.
Στη διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών, το σύστημα μεταφοράς πλακιδίων διαδραματίζει κρίσιμο ρόλο στη μεταφορά πλακιδίων σε διάφορα στάδια της διαδικασίας κατασκευής. Η ακρίβεια και η ακρίβεια είναι οι βασικές απαιτήσεις για αυτά τα συστήματα, καθώς ακόμη και μικρές αποκλίσεις θα μπορούσαν να θέσουν σε κίνδυνο ολόκληρη τη διαδικασία. Επομένως, τα εξαρτήματα στο σύστημα μεταφοράς πλακιδίων πρέπει να κατασκευάζονται από υλικά υψηλής ποιότητας και ο γρανίτης πληροί αυτά τα κριτήρια.
Ορισμένα τμήματα του συστήματος μεταφοράς πλακιδίων που είναι κατασκευασμένα από υλικά γρανίτη περιλαμβάνουν:
1.
Ο πίνακας τσοκ κενών χρησιμοποιείται για τη συγκράτηση του δισκίου κατά τη διάρκεια της διαδικασίας και πρέπει να έχει μια σταθερή επιφάνεια για να εξασφαλίσει ότι το δίσκο δεν έχει υποστεί βλάβη. Ο γρανίτης είναι ένα ιδανικό υλικό για την κατασκευή αυτού του πίνακα επειδή έχει μια επίπεδη, μη πορώδη επιφάνεια που παρέχει υψηλή σταθερότητα και ακρίβεια. Επιπλέον, ο γρανίτης έχει χαμηλό συντελεστή θερμικής διαστολής, καθιστώντας την ανθεκτική στις αλλαγές θερμοκρασίας που θα μπορούσαν να προκαλέσουν διαστασιολογικές αλλαγές στο δίσκο.
2.
Το στάδιο που φέρει αέρα χρησιμοποιείται για τη μεταφορά του δισκίου μέσω διαφορετικών σταδίων της διαδικασίας κατασκευής. Η σκηνή είναι σχεδιασμένη για να παρέχει ένα κίνημα χωρίς τριβή, η οποία απαιτεί υψηλή ακρίβεια και σταθερότητα. Ο γρανίτης χρησιμοποιείται σε αυτήν την εφαρμογή επειδή είναι μια άκαμπτη και σκληρή πέτρα και αντιστέκεται στην παραμόρφωση και η φθορά με την πάροδο του χρόνου.
3. Οδηγοί γραμμικής κίνησης
Οι οδηγοί γραμμικής κίνησης χρησιμοποιούνται για να καθοδηγήσουν το στάδιο που φέρει αέρα και πρέπει να τοποθετηθούν με ακρίβεια για να ελαχιστοποιηθούν τα σφάλματα. Ο γρανίτης χρησιμοποιείται για την κατασκευή αυτού του οδηγού επειδή έχει εξαιρετική μηχανική σταθερότητα και δύναμη. Το υλικό είναι επίσης ανθεκτικό στη διάβρωση, το οποίο εξασφαλίζει τη μακροζωία του οδηγού.
4. Εξοπλισμός Μετρολογίας
Ο εξοπλισμός μετρολογίας χρησιμοποιείται για τη μέτρηση των διαστάσεων και των ιδιοτήτων του δίσκου κατά τη διάρκεια της διαδικασίας παραγωγής. Ο γρανίτης είναι ένα ιδανικό υλικό για την οικοδόμηση αυτού του εξοπλισμού επειδή έχει υψηλή ακαμψία, χαμηλή επέκταση και ελάχιστη παραμόρφωση κάτω από το φορτίο. Επιπλέον, η θερμική σταθερότητα του Granite εξασφαλίζει ότι ο εξοπλισμός μετρολογίας παραμένει σταθερός και ακριβής με την πάροδο του χρόνου.
Συμπερασματικά, η βιομηχανία ημιαγωγών βασίζεται στην ακρίβεια και την ακρίβεια και τα υλικά γρανίτη έχουν αποδειχθεί ότι είναι εξαιρετικά αξιόπιστα και σταθερά στη διαδικασία κατασκευής. Με πολλά κρίσιμα εξαρτήματα στο σύστημα μεταφοράς πλακιδίων που απαιτούν υψηλή σταθερότητα, ακρίβεια και χαμηλή θερμική επέκταση, οι μηχανικοί έχουν μετατραπεί σε γρανίτη για να ανταποκριθούν σε αυτές τις κρίσιμες απαιτήσεις.
Χρόνος δημοσίευσης: Mar-19-2024