Τα υλικά γρανίτη χρησιμοποιούνται ευρέως στη βιομηχανία ημιαγωγών λόγω των εξαιρετικών χαρακτηριστικών τους, όπως η υψηλή σταθερότητα, η χαμηλή θερμική διαστολή και η υψηλή αντοχή στη διάβρωση. Αυτές οι ιδιότητες καθιστούν τον γρανίτη ιδανικό υλικό για την κατασκευή εξαρτημάτων υψηλής ακρίβειας σε ένα σύστημα μεταφοράς πλακιδίων.
Στη διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών, το σύστημα μεταφοράς πλακιδίων παίζει κρίσιμο ρόλο στη μεταφορά των πλακιδίων σε διαφορετικά στάδια της διαδικασίας κατασκευής. Η ακρίβεια και η ορθότητα είναι οι βασικές απαιτήσεις για αυτά τα συστήματα, καθώς ακόμη και μικρές αποκλίσεις θα μπορούσαν να θέσουν σε κίνδυνο ολόκληρη τη διαδικασία. Επομένως, τα εξαρτήματα του συστήματος μεταφοράς πλακιδίων πρέπει να είναι κατασκευασμένα από υλικά υψηλής ποιότητας και ο γρανίτης πληροί αυτά τα κριτήρια.
Ορισμένα μέρη του συστήματος μεταφοράς πλακιδίων που κατασκευάζονται από υλικά γρανίτη περιλαμβάνουν:
1. Τραπέζι τσοκ κενού
Η τράπεζα τσοκ κενού χρησιμοποιείται για τη συγκράτηση της γκοφρέτας κατά τη διάρκεια της διαδικασίας και πρέπει να έχει μια σταθερή επιφάνεια για να διασφαλιστεί ότι η γκοφρέτα δεν θα υποστεί ζημιά. Ο γρανίτης είναι ένα ιδανικό υλικό για την κατασκευή αυτής της τράπεζας επειδή έχει μια επίπεδη, μη πορώδη επιφάνεια που παρέχει υψηλή σταθερότητα και ακρίβεια. Επιπλέον, ο γρανίτης έχει χαμηλό συντελεστή θερμικής διαστολής, καθιστώντας την ανθεκτική στις αλλαγές θερμοκρασίας που θα μπορούσαν να προκαλέσουν αλλαγές διαστάσεων στην γκοφρέτα.
2. Στάδιο με ρουλεμάν αέρα
Η αεροπορική πλατφόρμα χρησιμοποιείται για τη μεταφορά του πλακιδίου σε διάφορα στάδια της διαδικασίας κατασκευής. Η πλατφόρμα έχει σχεδιαστεί για να παρέχει κίνηση χωρίς τριβή, η οποία απαιτεί υψηλή ακρίβεια και σταθερότητα. Ο γρανίτης χρησιμοποιείται σε αυτήν την εφαρμογή επειδή είναι μια άκαμπτη και σκληρή πέτρα και αντιστέκεται στην παραμόρφωση και τη φθορά με την πάροδο του χρόνου.
3. Οδηγοί Γραμμικής Κίνησης
Οι γραμμικοί οδηγοί κίνησης χρησιμοποιούνται για την καθοδήγηση της πλατφόρμας με το αεροδυναμικό ρουλεμάν και πρέπει να τοποθετούνται με ακρίβεια για την ελαχιστοποίηση των σφαλμάτων. Για την κατασκευή αυτού του οδηγού χρησιμοποιείται γρανίτης επειδή έχει εξαιρετική μηχανική σταθερότητα και αντοχή. Το υλικό είναι επίσης ανθεκτικό στη διάβρωση, γεγονός που εξασφαλίζει τη μακροζωία του συστήματος οδηγών.
4. Εξοπλισμός Μετρολογίας
Ο μετρολογικός εξοπλισμός χρησιμοποιείται για τη μέτρηση των διαστάσεων και των ιδιοτήτων του πλακιδίου κατά τη διάρκεια της διαδικασίας κατασκευής. Ο γρανίτης είναι ένα ιδανικό υλικό για την κατασκευή αυτού του εξοπλισμού επειδή έχει υψηλή ακαμψία, χαμηλή διαστολή και ελάχιστη παραμόρφωση υπό φορτίο. Επιπλέον, η θερμική σταθερότητα του γρανίτη διασφαλίζει ότι ο μετρολογικός εξοπλισμός παραμένει σταθερός και ακριβής με την πάροδο του χρόνου.
Συμπερασματικά, η βιομηχανία ημιαγωγών βασίζεται στην ακρίβεια και την ορθότητα, και τα υλικά γρανίτη έχουν αποδειχθεί εξαιρετικά αξιόπιστα και σταθερά στη διαδικασία κατασκευής. Με πολλά κρίσιμα εξαρτήματα στο σύστημα μεταφοράς πλακιδίων να απαιτούν υψηλή σταθερότητα, ακρίβεια και χαμηλή θερμική διαστολή, οι μηχανικοί έχουν στραφεί σε υλικά γρανίτη για να καλύψουν αυτές τις κρίσιμες απαιτήσεις.
Ώρα δημοσίευσης: 19 Μαρτίου 2024