Στη βιομηχανία ημιαγωγών, η επιθεώρηση πλακιδίων είναι ένας βασικός κρίκος για τη διασφάλιση της ποιότητας και της απόδοσης του τσιπ, και η ακρίβεια και η σταθερότητα του πίνακα επιθεώρησης παίζουν καθοριστικό ρόλο στα αποτελέσματα ανίχνευσης. Η βάση γρανίτη με τα μοναδικά χαρακτηριστικά της, γίνεται η ιδανική επιλογή για τον πίνακα επιθεώρησης πλακιδίων ημιαγωγών, ακολουθώντας την πολυδιάστατη ανάλυση για εσάς.
Πρώτον, η διάσταση εγγύησης ακρίβειας
1. Εξαιρετικά υψηλή επιπεδότητα και ευθύτητα: Η βάση από γρανίτη υποβάλλεται σε επεξεργασία με προηγμένη τεχνολογία επεξεργασίας και η επιπεδότητα μπορεί να φτάσει τα ±0,001 mm/m ή ακόμα και υψηλότερη ακρίβεια, ενώ η ευθύτητα είναι επίσης εξαιρετική. Στη διαδικασία επιθεώρησης πλακιδίων, το επίπεδο υψηλής ακρίβειας παρέχει σταθερή στήριξη για το πλακίδιο και εξασφαλίζει ακριβή επαφή μεταξύ του αισθητήρα του εξοπλισμού επιθεώρησης και των συγκολλήσεων στην επιφάνεια του πλακιδίου.
2. Πολύ χαμηλός συντελεστής θερμικής διαστολής: η κατασκευή ημιαγωγών είναι ευαίσθητη στις μεταβολές της θερμοκρασίας και ο συντελεστής θερμικής διαστολής του γρανίτη είναι εξαιρετικά χαμηλός, συνήθως περίπου 5×10⁻⁶/℃. Όταν η πλατφόρμα ανίχνευσης λειτουργεί, ακόμη και αν η θερμοκρασία περιβάλλοντος κυμαίνεται, το μέγεθος της βάσης του γρανίτη αλλάζει ελάχιστα. Για παράδειγμα, στο εργαστήριο υψηλής θερμοκρασίας το καλοκαίρι, η θερμοκρασία της κοινής πλατφόρμας ανίχνευσης μεταλλικής βάσης μπορεί να προκαλέσει μετατόπιση της σχετικής θέσης της πλακέτας και του εξοπλισμού ανίχνευσης, επηρεάζοντας την ακρίβεια ανίχνευσης. Η πλατφόρμα ανίχνευσης βάσης γρανίτη μπορεί να διατηρήσει τη σταθερότητα, να διασφαλίσει την ακρίβεια σχετικής θέσης της πλακέτας και του εξοπλισμού ανίχνευσης κατά τη διάρκεια της διαδικασίας ανίχνευσης και να παρέχει ένα σταθερό περιβάλλον για ανίχνευση υψηλής ακρίβειας.
Δεύτερον, η διάσταση της σταθερότητας
1. Σταθερή δομή και αντοχή σε κραδασμούς: Ο γρανίτης, μετά από εκατομμύρια χρόνια γεωλογικών διεργασιών, έχει πυκνή και ομοιόμορφη εσωτερική δομή. Στο πολύπλοκο περιβάλλον ενός εργοστασίου ημιαγωγών, οι κραδασμοί που παράγονται από τη λειτουργία του περιφερειακού εξοπλισμού και του προσωπικού που περπατά τριγύρω εξασθενούν αποτελεσματικά από τη βάση του γρανίτη.
2. Ακρίβεια μακροπρόθεσμης χρήσης: σε σύγκριση με άλλα υλικά, ο γρανίτης έχει υψηλή σκληρότητα, ισχυρή αντοχή στη φθορά και η σκληρότητα Mohs μπορεί να φτάσει το 6-7. Η επιφάνεια της βάσης του γρανίτη δεν φθείρεται εύκολα κατά τη συχνή φόρτωση, εκφόρτωση και επιθεώρηση πλακιδίων. Σύμφωνα με την πραγματική χρήση στατιστικών δεδομένων, η χρήση τραπεζιού δοκιμών βάσης γρανίτη, η συνεχής λειτουργία μετά από 5000 ώρες, η ακρίβεια της επιπεδότητας και της ευθύτητας μπορεί να διατηρηθεί σε περισσότερο από 98% της αρχικής ακρίβειας, μειώνοντας τον εξοπλισμό λόγω της φθοράς της βάσης που προκαλείται από τους τακτικούς χρόνους βαθμονόμησης και συντήρησης, μειώνοντας το λειτουργικό κόστος της επιχείρησης, για να διασφαλιστεί η μακροπρόθεσμη σταθερότητα των εργασιών δοκιμών.
Τρίτον, καθαρή και αντιπαρεμβατική διάσταση
1. Χαμηλή παραγωγή σκόνης: το περιβάλλον κατασκευής ημιαγωγών πρέπει να είναι εξαιρετικά καθαρό και το ίδιο το υλικό γρανίτη να είναι σταθερό και να μην παράγει εύκολα σωματίδια σκόνης. Κατά τη λειτουργία της πλατφόρμας δοκιμών, αποφεύγεται η μόλυνση της πλακέτας από τη σκόνη που παράγεται από τη βάση και μειώνεται ο κίνδυνος βραχυκυκλώματος και ανοιχτού κυκλώματος που προκαλείται από σωματίδια σκόνης. Στην περιοχή επιθεώρησης πλακιδίων του εργαστηρίου χωρίς σκόνη, η συγκέντρωση σκόνης γύρω από το τραπέζι επιθεώρησης της βάσης γρανίτη ελέγχεται πάντα σε εξαιρετικά χαμηλό επίπεδο, πληρώντας τις αυστηρές απαιτήσεις καθαριότητας της βιομηχανίας ημιαγωγών.
2. Καμία μαγνητική παρεμβολή: ο εξοπλισμός ανίχνευσης είναι ευαίσθητος στο ηλεκτρομαγνητικό περιβάλλον και ο γρανίτης είναι ένα μη μαγνητικό υλικό, το οποίο δεν θα επηρεάσει το ηλεκτρονικό σήμα του εξοπλισμού ανίχνευσης. Κατά τη χρήση ανίχνευσης δέσμης ηλεκτρονίων και άλλων τεχνολογιών δοκιμών που απαιτούν εξαιρετικά υψηλό ηλεκτρομαγνητικό περιβάλλον, η βάση γρανίτη εξασφαλίζει τη σταθερή μετάδοση του ηλεκτρονικού σήματος του εξοπλισμού ανίχνευσης και διασφαλίζει την ακρίβεια των αποτελεσμάτων των δοκιμών. Για παράδειγμα, όταν η πλακέτα δοκιμάζεται για ηλεκτρική απόδοση υψηλής ακρίβειας, η μη μαγνητική βάση γρανίτη αποφεύγει την παρεμβολή στα σήματα ρεύματος και τάσης ανίχνευσης, έτσι ώστε τα δεδομένα ανίχνευσης να αντικατοπτρίζουν πραγματικά τα ηλεκτρικά χαρακτηριστικά της πλακέτας.
Ώρα δημοσίευσης: 31 Μαρτίου 2025