Ο γρανίτης είναι ένας τύπος σκληρού βράχου που έχει γίνει ένα απαραίτητο υλικό στην βιομηχανία παραγωγής ημιαγωγών. Οι ιδιότητες του επιτρέπουν να αντέχει σε υψηλές θερμοκρασίες, γεγονός που το καθιστά ιδανικό για χρήση σε διάφορα στάδια των διαδικασιών κατασκευής συσκευών ημιαγωγών. Ως αποτέλεσμα, το συγκρότημα γρανίτη έχει βρει εκτεταμένες περιοχές εφαρμογής σε προϊόντα συσκευής παραγωγής ημιαγωγών.
Μία από τις πιο χρησιμοποιούμενες εφαρμογές της συναρμολόγησης γρανίτη είναι η κατασκευή δομών εργαλείων υψηλής ακρίβειας. Η ακαμψία και η σταθερότητα του γρανίτη καθιστούν δυνατή την παραγωγή ακριβών και ακριβών εργαλείων με ελάχιστη ή καθόλου παραμόρφωση. Αυτό το επίπεδο ακρίβειας είναι απαραίτητο στις διαδικασίες παραγωγής ημιαγωγών, όπως η εμφύτευση ιόντων, όπου η δέσμη πρέπει να κατευθύνεται με ακρίβεια πάνω στο δίσκο.
Μια άλλη εφαρμογή της συναρμολόγησης γρανίτη στην κατασκευή ημιαγωγών είναι στην κατασκευή εξοπλισμού μετρολογίας. Ο εξοπλισμός μετρολογίας είναι ζωτικής σημασίας στις διαδικασίες παραγωγής ημιαγωγών καθώς μετρά και επαληθεύει την ακρίβεια των συσκευών που παράγονται. Η σταθερότητα των διαστάσεων του γρανίτη, η χαμηλή θερμική διαστολή και οι εξαιρετικές ιδιότητες απόσβεσης των κραδασμών το καθιστούν το υλικό επιλογής στην κατασκευή εξοπλισμού μετρολογίας. Αυτό περιλαμβάνει μεγάλες επιφάνειες γρανίτη που χρησιμοποιούνται στη σταδιοποίηση και την επιθεώρηση των πλακιδίων.
Οι οπτικοί πίνακες είναι ένας ακόμη τομέας εκτεταμένης εφαρμογής της συναρμολόγησης γρανίτη στη βιομηχανία ημιαγωγών. Οι οπτικοί πίνακες χρησιμοποιούνται στη δοκιμή οπτικών συσκευών, όπως κυματοδηγοί για επικοινωνία δεδομένων. Η επίπεδη επίπεδη γρανίτη, η χαμηλή θερμική διαστολή, η υψηλή ακαμψία και η μηχανική σταθερότητα του επιτρέπουν να παρέχει μια εξαιρετικά σταθερή επιφάνεια για τη τοποθέτηση και την τοποθέτηση της οπτικής. Οι οπτικοί πίνακες γρανίτη μπορούν να παρέχουν τη σταθερότητα και την ακαμψία που απαιτούνται για την πραγματοποίηση ακριβών, ακριβών δοκιμών οπτικών συσκευών.
Ο Γρανίτης βρίσκει επίσης εφαρμογή στην κατασκευή τσοκ και σταδιακά. Κατά τη διάρκεια της διαδικασίας παραγωγής ημιαγωγών, η ευθυγράμμιση ακριβείας και ο έλεγχος της θέσης είναι ζωτικής σημασίας. Το Chucks, οι οποίοι συγκρατούν τα πλακίδια κατά τη διάρκεια της επεξεργασίας, πρέπει να διατηρούν την ακρίβεια της θέσης ενώ αντισταθμίζουν τις υψηλές θερμοκρασίες και τις συνθήκες κενού. Ο γρανίτης έχει εξαιρετική σταθερότητα διαστάσεων σε ένα ευρύ φάσμα θερμοκρασιών και μπορεί να αντέξει τις συνθήκες κενού, καθιστώντας το ιδανικό για την κατασκευή τσοκ. Στάδια που χρησιμοποιούνται στην κίνηση των πλακών από τη μια θέση στην άλλη περνούν από μια ακολουθία ποδηλασίας κινήσεων κατά τη διάρκεια μιας διαδικασίας κατασκευής ημιαγωγών. Το συγκρότημα γρανίτη παρέχει σταθερότητα και ανθεκτικότητα που απαιτείται για να φέρει τους συνεχείς και επαναλαμβανόμενους κύκλους κίνησης.
Συνοπτικά, η εφαρμογή της συναρμολόγησης γρανίτη στη βιομηχανία παραγωγής ημιαγωγών είναι τεράστια. Οι ιδιότητές του, όπως η σταθερότητα των διαστάσεων, η χαμηλή θερμική διαστολή, η υψηλή ακαμψία και η απόσβεση των κραδασμών, καθιστούν το ιδανικό υλικό για χρήση σε διάφορα στάδια των διαδικασιών κατασκευής συσκευών ημιαγωγών. Από την κατασκευή εργαλειομηχανών υψηλής ακρίβειας και εξοπλισμού μετρολογίας σε οπτικά τραπέζια και στάδια πλακιδίων και τσοκ, τα χαρακτηριστικά του γρανίτη διαδραματίζουν καθοριστικό ρόλο στην παροχή σταθερότητας, ακρίβειας και επαναληψιμότητας που απαιτείται για την επίτευξη κατασκευής συσκευών ημιαγωγών υψηλής ποιότητας.
Χρόνος δημοσίευσης: DEC-06-2023