Κατασκευή ημιαγωγών: Στη διαδικασία κατασκευής τσιπ, η φωτολιθογραφία πρέπει να μεταφέρει με ακρίβεια το μοτίβο κυκλώματος στην πλακέτα. Η βάση από γρανίτη της μονής αξονικής μονάδας κίνησης υπερ-ακριβείας με αέρα μπορεί να παρέχει τοποθέτηση υψηλής ακρίβειας και σταθερή στήριξη για την τράπεζα πλακιδίων στον εξοπλισμό λιθογραφίας. Για παράδειγμα, η ASML και άλλοι διεθνώς αναγνωρισμένοι κατασκευαστές μηχανημάτων λιθογραφίας χρησιμοποιούν μονάδες κίνησης με αέρα με βάση γρανίτη στον εξοπλισμό υψηλής τεχνολογίας τους, οι οποίες μπορούν να ελέγχουν την ακρίβεια τοποθέτησης της πλακέτας σε νανομετρικό επίπεδο για να διασφαλίζουν την ακρίβεια του μοτίβου λιθογραφίας, βελτιώνοντας έτσι την ενσωμάτωση και την απόδοση του τσιπ.
Πεδίο μέτρησης ακριβείας: Το CMM είναι ένας εξοπλισμός μέτρησης ακριβείας που χρησιμοποιείται συνήθως στη βιομηχανική παραγωγή και χρησιμοποιείται για τη μέτρηση του μεγέθους, του σχήματος και της ακρίβειας θέσης του τεμαχίου εργασίας. Η μονάδα κίνησης εξαιρετικά ακριβείας του μονού άξονα πλωτήρα αέρα στη βάση από γρανίτη μπορεί να χρησιμοποιηθεί ως πλατφόρμα κίνησης του CMM, η οποία μπορεί να πραγματοποιήσει γραμμική κίνηση υψηλής ακρίβειας και να παρέχει μια σταθερή τροχιά κίνησης για τον αισθητήρα μέτρησης. Για παράδειγμα, το CMM υψηλής τεχνολογίας της Hexagon χρησιμοποιεί αυτόν τον συνδυασμό για τη μέτρηση μεγάλων και σύνθετων εξαρτημάτων με ακρίβεια μέτρησης έως και το επίπεδο του μικρού, παρέχοντας μια ισχυρή εγγύηση για τον ποιοτικό έλεγχο εξαρτημάτων στην αυτοκινητοβιομηχανία, την αεροδιαστημική και άλλες βιομηχανίες.
Αεροδιαστημικός τομέας: Στην επεξεργασία και τον έλεγχο αεροδιαστημικών εξαρτημάτων, απαιτείται υψηλή ακρίβεια. Για παράδειγμα, η κατεργασία των λεπίδων κινητήρων αεροσκαφών απαιτεί ακριβή έλεγχο της τροχιάς κίνησης του εργαλείου για να διασφαλιστεί η ακρίβεια του προφίλ της λεπίδας. Η βάση από γρανίτη της μονάδας κίνησης υπερ-ακρίβειας με πλωτήρα αέρα ενός άξονα μπορεί να εφαρμοστεί στο κέντρο κατεργασίας πέντε αξόνων και σε άλλο εξοπλισμό για να παρέχει έλεγχο κίνησης υψηλής ακρίβειας για το εργαλείο και να διασφαλίσει ότι η ακρίβεια κατεργασίας της λεπίδας μπορεί να ανταποκριθεί στις απαιτήσεις σχεδιασμού. Ταυτόχρονα, κατά τη διαδικασία συναρμολόγησης του αεροκινητήρα, είναι επίσης απαραίτητο να χρησιμοποιείται εξοπλισμός μέτρησης υψηλής ακρίβειας για την ανίχνευση της ακρίβειας συναρμολόγησης των εξαρτημάτων. Η μονάδα κίνησης με πλωτήρα αέρα της βάσης από γρανίτη μπορεί να παρέχει σταθερή στήριξη και ακριβή κίνηση για τον εξοπλισμό μέτρησης για να διασφαλιστεί η ποιότητα συναρμολόγησης.
Πεδίο οπτικής επιθεώρησης: Στη διαδικασία κατασκευής και δοκιμής οπτικών εξαρτημάτων, είναι απαραίτητο να εκτελείται τοποθέτηση και μέτρηση υψηλής ακρίβειας των οπτικών εξαρτημάτων. Για παράδειγμα, κατά την κατασκευή οπτικών εξαρτημάτων υψηλής ακρίβειας, όπως καθρέφτες και φακοί, είναι απαραίτητο να χρησιμοποιούνται συμβολόμετρα και άλλος εξοπλισμός για την ανίχνευση της ακρίβειας του σχήματος της επιφάνειας. Η βάση από γρανίτη της μονάξονης μονάδας κίνησης υπερ-ακρίβειας που αιωρείται στον αέρα μπορεί να χρησιμοποιηθεί ως πλατφόρμα κίνησης του συμβολόμετρου, η οποία μπορεί να επιτύχει ακρίβεια τοποθέτησης υπομικρών και να παρέχει ακριβή υποστήριξη δεδομένων για την ανίχνευση οπτικών εξαρτημάτων. Επιπλέον, στον εξοπλισμό επεξεργασίας λέιζερ, είναι επίσης απαραίτητο να χρησιμοποιηθεί μια πλατφόρμα κίνησης υψηλής ακρίβειας για τον έλεγχο της τροχιάς σάρωσης της δέσμης λέιζερ. Η βάση από γρανίτη της μονάδας κίνησης που αιωρείται στον αέρα μπορεί να ικανοποιήσει αυτήν την απαίτηση, για να επιτευχθεί επεξεργασία λέιζερ υψηλής ακρίβειας.
Ώρα δημοσίευσης: 07 Απριλίου 2025