Τα εξαρτήματα από γρανίτη έχουν χρησιμοποιηθεί ευρέως στη διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών λόγω των εξαιρετικών χαρακτηριστικών τους, όπως η ανώτερη επιφάνεια, η υψηλή ακαμψία και η εξαιρετική απόσβεση κραδασμών. Τα εξαρτήματα από γρανίτη είναι απαραίτητα για τον εξοπλισμό κατασκευής ημιαγωγών, συμπεριλαμβανομένων των μηχανών λιθογραφίας, των μηχανών στίλβωσης και των συστημάτων μετρολογίας, καθώς παρέχουν ακριβή τοποθέτηση και σταθερότητα κατά τη διάρκεια της διαδικασίας κατασκευής. Παρά τα πλεονεκτήματα της χρήσης εξαρτημάτων από γρανίτη, έχουν και ελαττώματα. Σε αυτό το άρθρο, θα συζητήσουμε τα ελαττώματα των εξαρτημάτων από γρανίτη για προϊόντα διαδικασίας κατασκευής ημιαγωγών.
Καταρχάς, τα γρανιτένια εξαρτήματα έχουν υψηλό συντελεστή θερμικής διαστολής. Αυτό σημαίνει ότι διαστέλλονται σημαντικά υπό θερμική καταπόνηση, η οποία θα μπορούσε να προκαλέσει προβλήματα κατά τη διάρκεια της διαδικασίας κατασκευής. Η διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών απαιτεί υψηλή ακρίβεια και ακρίβεια διαστάσεων που θα μπορούσαν να επηρεαστούν αρνητικά λόγω θερμικής καταπόνησης. Για παράδειγμα, η παραμόρφωση των πλακιδίων πυριτίου λόγω θερμικής διαστολής θα μπορούσε να προκαλέσει προβλήματα ευθυγράμμισης κατά τη λιθογραφία, τα οποία θα μπορούσαν να θέσουν σε κίνδυνο την ποιότητα της ημιαγωγικής συσκευής.
Δεύτερον, τα εξαρτήματα από γρανίτη έχουν ελαττώματα πορώδους που θα μπορούσαν να προκαλέσουν διαρροές κενού στη διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών. Η παρουσία αέρα ή οποιουδήποτε άλλου αερίου στο σύστημα θα μπορούσε να προκαλέσει μόλυνση στην επιφάνεια του πλακιδίου, με αποτέλεσμα ελαττώματα που θα μπορούσαν να επηρεάσουν την απόδοση της ημιαγωγικής συσκευής. Αδρανή αέρια όπως το αργό και το ήλιο θα μπορούσαν να εισχωρήσουν σε πορώδη εξαρτήματα από γρανίτη και να δημιουργήσουν φυσαλίδες αερίου που θα μπορούσαν να επηρεάσουν την ακεραιότητα της διαδικασίας κενού.
Τρίτον, τα εξαρτήματα από γρανίτη παρουσιάζουν μικρορωγμές που θα μπορούσαν να επηρεάσουν την ακρίβεια της διαδικασίας κατασκευής. Ο γρανίτης είναι ένα εύθραυστο υλικό που θα μπορούσε να αναπτύξει μικρορωγμές με την πάροδο του χρόνου, ειδικά όταν εκτίθεται σε συνεχείς κύκλους καταπόνησης. Η παρουσία μικρορωγμών θα μπορούσε να οδηγήσει σε διαστατική αστάθεια, προκαλώντας σημαντικά προβλήματα κατά τη διάρκεια της διαδικασίας κατασκευής, όπως η ευθυγράμμιση με λιθογραφία ή η στίλβωση πλακιδίων.
Τέταρτον, τα εξαρτήματα από γρανίτη έχουν περιορισμένη ευελιξία. Η διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών απαιτεί ευέλικτο εξοπλισμό που μπορεί να προσαρμόζεται σε διαφορετικές αλλαγές στη διαδικασία. Ωστόσο, τα εξαρτήματα από γρανίτη είναι άκαμπτα και δεν μπορούν να προσαρμοστούν σε διαφορετικές αλλαγές στη διαδικασία. Επομένως, τυχόν αλλαγές στη διαδικασία κατασκευής απαιτούν την αφαίρεση ή την αντικατάσταση των εξαρτημάτων από γρανίτη, γεγονός που οδηγεί σε διακοπές λειτουργίας και επηρεάζει την παραγωγικότητα.
Πέμπτον, τα γρανιτένια εξαρτήματα απαιτούν ειδικό χειρισμό και μεταφορά λόγω του βάρους και της ευθραυστότητάς τους. Ο γρανίτης είναι ένα πυκνό και βαρύ υλικό που απαιτεί εξειδικευμένο εξοπλισμό χειρισμού, όπως γερανούς και ανυψωτικά. Επιπλέον, τα γρανιτένια εξαρτήματα απαιτούν προσεκτική συσκευασία και μεταφορά για την αποφυγή ζημιών κατά την αποστολή, γεγονός που οδηγεί σε πρόσθετο κόστος και χρόνο.
Συμπερασματικά, τα γρανιτένια εξαρτήματα παρουσιάζουν ορισμένα μειονεκτήματα που θα μπορούσαν να επηρεάσουν την ποιότητα και την παραγωγικότητα των προϊόντων της διαδικασίας παραγωγής ημιαγωγών. Αυτά τα ελαττώματα θα μπορούσαν να ελαχιστοποιηθούν μέσω προσεκτικού χειρισμού και συντήρησης των γρανιτένιων εξαρτημάτων, συμπεριλαμβανομένης της περιοδικής επιθεώρησης για μικρορωγμές και ελαττώματα πορώδους, του κατάλληλου καθαρισμού για την πρόληψη της μόλυνσης και του προσεκτικού χειρισμού κατά τη μεταφορά. Παρά τα ελαττώματα, τα γρανιτένια εξαρτήματα παραμένουν ζωτικό μέρος της διαδικασίας παραγωγής ημιαγωγών λόγω της ανώτερης επιφανειακής τους επιφάνειας, της υψηλής ακαμψίας και της εξαιρετικής απόσβεσης κραδασμών.
Ώρα δημοσίευσης: 05-12-2023