Τα εξαρτήματα γρανίτη έχουν χρησιμοποιηθεί ευρέως στη διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών λόγω των εξαιρετικών χαρακτηριστικών τους όπως το ανώτερο φινίρισμα της επιφάνειας, η υψηλή ακαμψία και η εξαιρετική απόσβεση κραδασμών.Τα εξαρτήματα γρανίτη είναι απαραίτητα για τον εξοπλισμό κατασκευής ημιαγωγών, συμπεριλαμβανομένων των μηχανών λιθογραφίας, των μηχανών στίλβωσης και των συστημάτων μετρολογίας, καθώς παρέχουν ακριβή τοποθέτηση και σταθερότητα κατά τη διαδικασία κατασκευής.Παρά όλα τα πλεονεκτήματα της χρήσης εξαρτημάτων γρανίτη, έχουν επίσης ελαττώματα.Σε αυτό το άρθρο, θα συζητήσουμε τα ελαττώματα των εξαρτημάτων γρανίτη για τα προϊόντα της διαδικασίας κατασκευής ημιαγωγών.
Πρώτον, τα εξαρτήματα γρανίτη έχουν υψηλό συντελεστή θερμικής διαστολής.Σημαίνει ότι διαστέλλονται σημαντικά υπό θερμική καταπόνηση, η οποία θα μπορούσε να προκαλέσει προβλήματα κατά τη διαδικασία κατασκευής.Η διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών απαιτεί υψηλή ακρίβεια και ακρίβεια διαστάσεων που θα μπορούσε να τεθεί σε κίνδυνο λόγω θερμικής καταπόνησης.Για παράδειγμα, η παραμόρφωση του πλακιδίου πυριτίου λόγω θερμικής διαστολής θα μπορούσε να προκαλέσει προβλήματα ευθυγράμμισης κατά τη διάρκεια της λιθογραφίας, τα οποία θα μπορούσαν να θέσουν σε κίνδυνο την ποιότητα της συσκευής ημιαγωγών.
Δεύτερον, τα εξαρτήματα γρανίτη έχουν ελαττώματα πορώδους που θα μπορούσαν να προκαλέσουν διαρροές κενού στη διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών.Η παρουσία αέρα ή οποιουδήποτε άλλου αερίου στο σύστημα θα μπορούσε να προκαλέσει μόλυνση στην επιφάνεια της γκοφρέτας, με αποτέλεσμα ελαττώματα που θα μπορούσαν να επηρεάσουν την απόδοση της συσκευής ημιαγωγών.Αδρανή αέρια όπως το αργό και το ήλιο θα μπορούσαν να εισχωρήσουν σε πορώδη συστατικά γρανίτη και να δημιουργήσουν φυσαλίδες αερίου που θα μπορούσαν να επηρεάσουν την ακεραιότητα της διαδικασίας κενού.
Τρίτον, τα εξαρτήματα γρανίτη έχουν μικροκατάγματα που θα μπορούσαν να επηρεάσουν την ακρίβεια της διαδικασίας κατασκευής.Ο γρανίτης είναι ένα εύθραυστο υλικό που θα μπορούσε να αναπτύξει μικροκατάγματα με την πάροδο του χρόνου, ειδικά όταν εκτίθεται σε συνεχείς κύκλους καταπόνησης.Η παρουσία μικρορωγμών θα μπορούσε να οδηγήσει σε αστάθεια των διαστάσεων, προκαλώντας σημαντικά προβλήματα κατά τη διαδικασία κατασκευής, όπως ευθυγράμμιση λιθογραφίας ή στίλβωση γκοφρέτας.
Τέταρτον, τα εξαρτήματα γρανίτη έχουν περιορισμένη ευελιξία.Η διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών απαιτεί ευέλικτο εξοπλισμό που θα μπορούσε να φιλοξενήσει διαφορετικές αλλαγές διαδικασίας.Ωστόσο, τα εξαρτήματα γρανίτη είναι άκαμπτα και δεν μπορούν να προσαρμοστούν σε διαφορετικές αλλαγές διαδικασίας.Επομένως, οποιεσδήποτε αλλαγές στη διαδικασία κατασκευής απαιτούν την αφαίρεση ή την αντικατάσταση των εξαρτημάτων από γρανίτη, οδηγώντας σε διακοπές λειτουργίας και επηρεάζοντας την παραγωγικότητα.
Πέμπτον, τα εξαρτήματα γρανίτη απαιτούν ειδικό χειρισμό και μεταφορά λόγω του βάρους και της ευθραυστότητάς τους.Ο γρανίτης είναι ένα πυκνό και βαρύ υλικό που απαιτεί εξειδικευμένο εξοπλισμό χειρισμού, όπως γερανούς και ανυψωτικά.Επιπλέον, τα εξαρτήματα γρανίτη απαιτούν προσεκτική συσκευασία και μεταφορά για να αποφευχθεί η ζημιά κατά την αποστολή, με αποτέλεσμα πρόσθετο κόστος και χρόνο.
Συμπερασματικά, τα εξαρτήματα γρανίτη έχουν ορισμένα μειονεκτήματα που θα μπορούσαν να επηρεάσουν την ποιότητα και την παραγωγικότητα των προϊόντων της διαδικασίας παραγωγής ημιαγωγών.Αυτά τα ελαττώματα θα μπορούσαν να ελαχιστοποιηθούν με προσεκτικό χειρισμό και συντήρηση εξαρτημάτων γρανίτη, συμπεριλαμβανομένης της περιοδικής επιθεώρησης για μικροκατάγματα και ελαττώματα πορώδους, κατάλληλου καθαρισμού για την αποφυγή μόλυνσης και προσεκτικού χειρισμού κατά τη μεταφορά.Παρά τα ελαττώματα, τα εξαρτήματα γρανίτη παραμένουν ζωτικό μέρος της διαδικασίας κατασκευής ημιαγωγών λόγω του ανώτερου φινιρίσματος της επιφάνειας, της υψηλής ακαμψίας και της εξαιρετικής απόσβεσης κραδασμών.
Ώρα δημοσίευσης: Δεκ-05-2023